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IC載板壓機的真空系統(tǒng)
2022-05-12 15:43
現(xiàn)在IC載板的廠家購買層壓機都要求有真空層壓這一功能，真空下的壓合能解決很多工藝上的問題，今天小編給大家介紹一下IC載板壓機的真空系統(tǒng)。
1. 真空室完全密封，不僅要求壓機框架有足夠強度和良好的密封性能，而且要求真空門．維修門等具有良好的密封性能；
2. 抽真空管道及閥門具有良好的密封性能；
3. 真空泵具有良好的性能，有足夠的抽真空能力。目前壓機對真空度要求很高，抽真空能力一般要在5－6min可以抽到30torr，極限真空可以抽到10torr以上。在真空泵的選型上大多數(shù)壓機包括KITAGAWA、OEM、ACCUDYNE等壓機均采用BUSCH公司生產(chǎn)的真空泵，BUSCH泵性能不錯，結(jié)構(gòu)簡單，維修方便，但由于BUSCH泵是葉片泵，需要良好的潤滑性能，而抽真空時空氣中的水份容易積在真空泵油中，造成真空泵中油容易乳化甚至碳化，這就使得葉片和泵體潤滑性能減弱，形成惡性循環(huán)，造成葉片容易磨損，油氣分離器破損。這就要求對真空泵進(jìn)行精心維護(hù)，特別是要加強對真空泵的排水工作。
另外一種真空泵就是水環(huán)式真空泵，這種泵最適合層壓機抽真空。因為它不存在潤滑及腐蝕兩個問題，只是這種真空泵使用條件比較高，需要冷卻水且要在5℃－15℃之間，而且水環(huán)泵抽真空需要電機功率也比較大，價格又貴，所以目前選用真空泵從購買成本考慮大多仍選用BUSCH泵。
控制系統(tǒng)：層壓機主要要控制壓力、溫度2個參數(shù)，有的壓機還控制真空度。壓力、溫度2個參數(shù)變化都是用電腦控制， 德國機除用電腦控制外，還可以用DCP來控制。
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